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涡电流测控仪
TCS-A型电涡流在线研磨厚度測控仪
TCS-A型电涡流在线研磨厚度測控仪

本测厚仪系统共由四大部分组成,在厚度精密研磨加工过程中进行厚度控制,从而实现研磨过程的自动化。

应用范围:可用于对碳化硅、硅、锗、砷化镓、蓝宝石、钽酸锂、铌酸锂、光学水晶及光学玻璃等非金属贵重材料的厚度研磨控制。

测量精度:±3μm

传感器解析精度:<±1μm(微米级)

工作范围:工件厚度******不超过16000μm(超过此厚度时需要更换传感器)

结构外形、尺寸及重量(附图片)

序号

结构名称

图片展示

外形尺寸(mm)

重量(kg)

1

测厚仪本体

见图一、图二

320W×120H×220D

4.75

2

传感放大器模块

见图三

210W×75H×160D

3.5

3

传感器位置调节模块

见图四、图五

120W×152H×89D

2.2

4

8极水银滑动环及夹具

见图六、图七

Φ40×70H

0.25

电源供给:AC100/220V    50/60Hz     1.5A


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