功能实现(Function)
本机机械手臂可以搬运晶片,也可以通过手臂翻将晶圆上下表面翻转180度,然后依据上游已经测试的数据和工艺要求把来料cassette中的晶片放入相应cassette进行分类。该机可以通过选装模组扩展功能。
使用范围(Scope of Application)
基本型:4in—8in
加强型:12in
工位数量(Number of Cassette)
基本型: 6个
加强型: 3个
搬运速度(Output)
≦200片(基础搬运)
选装(Optional)
OCR识别
Aligner校准器