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自动导片机
TRAN-200A型自动导片机
TRAN-200A型自动导片机

功能实现Function

本机机械手臂可以搬运晶片,也可以通过手臂翻将晶圆上下表面翻转180度,然后依据上游已经测试的数据和工艺要求把来料cassette中的晶片放入相应cassette进行分类。该机可以通过选装模组扩展功能。

使用范围(Scope of Application)

基本型:4in—8in

加强型:12in

工位数量(Number of Cassette)

基本型: 6个

加强型: 3个

搬运速度(Output)

≦200片(基础搬运)

选装(Optional)

OCR识别

Aligner校准器

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